六氟丙烯
六氟丙烯为电子工业等离子蚀刻工艺中重要的蚀刻气体。
六氟丙烯为电子工业等离子蚀刻工艺中重要的蚀刻气体。
| 化学名称 | 六氟丙烯 |
| 别名 | 全氟丙烯，R-1216，HFP |
| CAS号 | 116-15-4 |
| ELINCS号 | 204-127-4 |
| 化学式 | C3F6 |
| 结构式 | CF3CF=CF2 |
| 分子量 | 150.02 |
| ODP（CFC-11 = 1） | 0 |
| GWP100（CO2 = 1） | <<1 天 |
| 大气寿命（天） | 5.5 |
| TWA（8-hr, mg/m³） | 2.5 |
| 化学名称 | 1,1,2,3,3,-六氟丙烯 |
| 沸点（℃） | -30.3 |
| 熔点（℃） | -156.5 |
| 液体密度（20℃，g/cm3） | 1.33 |
| 饱和蒸气压（25℃,KPa） | 690 |
| 临界温度（℃） | 85.8 |
| 临界压力（MPa） | 2.7 |
| 水中溶解度 | 不溶 |
| 闪点（℃） | 不适用（不可燃） |
| 可燃性 | 不适用（不可燃） |
| 爆炸极限（%vol) | 不适用（不可燃） |
| 纯度 | 99.9% | 99.99% |
| 钢瓶规格 | 阀门 | 充装量 |
| 10L | CGA 660/DISS 716 | 9 kg |
| 44 L | CGA 660/DISS 716 | 40 kg |
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